螺杆真空泵在半导体行业应用
1、全球干式真空泵行业市场规模2019年全球干式真空泵市场规模为60 亿美元，预计 2020-2026年干式真空泵市场规模的年复合增长率为 5.5%。
（1）集成电路领域干式真空泵市场规模干式真空泵是半导体各制程中必备的通用设备，应用于单晶拉晶、Load-Lock、刻蚀、CVD、原子层沉积（ALD）、封装、测试等清洁或严苛制程。受益于近年来集成电路产业的稳定增长，干式真空泵产业也保持着持续稳步的发展态势。以 12 英寸晶圆生产线为例，每 3.5 万片/月产能需要约 2,000 台真空泵。2019 年全球晶圆在运产能折合 12 英寸约 869 万片/月，假设存量干式真空泵每年更换 20%（晶圆制造企业对干式真空泵的折旧年限一般为 5 年），按单台干式真空泵均价 10 万元估算，2019 年全球集成电路领域干式真空泵存量替换市场规模约 100 亿元。
（2）光伏领域干式真空泵市场规模干式真空泵是光伏产业的晶体生长和硅片生产的必备设备。2019年度大陆硅片产能 173.7GW，晶体生长和硅片生产每 GW 需要约 200 台干式真空泵。根据隆基股份、中环股份、晶澳科技、晶科能源等光伏产品制造商的公告，预计 2020 年-2022 年每年将新增硅片产能约 50GW，亦即每年因新增硅片产能增加干式真空泵市场需求约 7 亿元。综上，预计未来几年光伏产业对干式真空泵的市场需求为每年 12-15 亿元。（3）干式真空泵在其他产业应用情况除集成电路和光伏产业外，干式真空泵作为通用设备，由于其具备良好的洁净真空特性和可靠性，因而是 LED 产业的外延片生长和芯片制造、平板显示产业 PVD 等工艺环节真空环境获得的主要设备。此外，干式真空泵在锂电池烘干工序，以及化工等产业中均有应用。
2、干式真空泵行业发展面临的机遇与挑战
（1）行业发展面临的机遇产业政策大力支持由于各种电子技术都基于半导体材料来实现，几乎所有电子产品如 PC、消费电子、通信设备等的重要单元均与半导体有着极为密切的关联，因此半导体是电子产品的重要组成部分，承担了信息的载体和传输功能，是整个信息产业的发展基石。集成电路产业已成为国民经济中基础性、关键性和战略性的产业。近年来，在产业、财税、金融等方面出台多项政策支持集成电路产业发展，包括《新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展的若干政策》、《进一步鼓励软件产业和集成电路产业发展若干政策》、《关于进一步鼓励集成电路产业发展企业所得税政策的通知》、《国民经济和社会发展第十三个五年（2016-2020）规划纲要》等，为集成电路装备制造企业的发展创造了良好市场与政策环境的同时，也对产业发展制定了目标与规划。下游市场需求增长我国本土集成电路产业发展虽起步较晚，但近年来发展迅速，行业增速快。数据显示，2019年集成电路产业销售额达7,562亿元，占全球集成电路市场销售额的32.87%，我国已超过美国、欧洲和日本，成为全球较大的集成电路市场。与此同时，物联网、大数据、人工智能、5G 通信、智能驾驶等新型基础设施和新型应用领域将带来巨大的芯片增量需求，为干式真空泵产品提供广阔的市场空间。全球半导体产能逐步向我国转移。经历了 20 世纪 70 年代由美国转向日本，以及 20 世纪 80 年代转向韩国，目前半导体产业正在经历向大陆的第三次转移。目前，拥有全球规模较大且增长快的集成电路消费市场。受益于庞大的消费市场以及产业政策的大力支持，国内集成电路制造企业中芯国际、华虹集团、长江存储，以及台积电、三星、英特尔等境外企业均加大在大陆的投资以扩张产能。集成电路生产能力的不断提升，有利于国内装备制造企业积累研发及管理经验、降低生产成本以及加快人才培养，促进国内装备制造企业的快速发展。（2）行业发展面临的挑战与国外厂商比综合竞争力仍存在一定小差距我国相关产业起步相对较晚，产业基础相对薄弱，较之国外行业厂商，国内企业在产品性能、产品种类、研发投入、业务规模、技术积累等多方面仍存在一定差距。在山东真空学会大力推广下，山东本土真空设备技术不断提高，出现一批国内带头企业人才储备也许相对不足，但也取得长足进步真空获得设备、真空仪器设备研发制造业对科研人才的要求较高，一方面，产品的研发、设计、制造需要真空、机械、材料、软件等多学科领域的复合型人才；另一方面，由于产品应用领域广，可用于集成电路、光伏、LED、平板显示、锂电池、化工等行业，因而要求研发、设计人员对产品下游应用领域及应用场景有较为深刻的理解和认识。由于我国相关产业发展历程较短，且人才的培养不仅需要扎实的理论学习更要求大量的实践经验，现有半导体产业及其设备制造业的人才难以满足行业快速发展的需要。
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